GB/T34899-2017微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。 本标准适用于微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。

标准号：GB/T 34899-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

发布单位：国家质量监督检验检疫