GB/T34893-2017微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。 本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MENS微结构。

标准号：GB/T 34893-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

发布单位：国家质量监督检验检疫