GB/T34894-2017微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。 本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。

标准号：GB/T 34894-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

发布单位：国家质量监督检验检疫