GB/T34898-2017微机电系统（MEMS）技术MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

本标准规定了谐振式传感器中MENS谐振敏感元件非线性振动特性参数的测试方法。 本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MENS敏感元件可参考使用。

标准号：GB/T 34898-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

发布单位：国家质量监督检验检疫