GB/T30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法

本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。

标准号：GB/T 30866-2014

标准名称：碳化硅单晶片直径测试方法

英文名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-07-24

实施日期：2015-02-01

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料

发布单位：国家质量监督检验检疫