GB/T29504-2013300mm硅单晶

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率05Ω·cm~20Ω·cm 硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽013μm 及以下技术需求的300mm 硅单晶抛光片。

标准号：GB/T 29504-2013

标准名称：300mm 硅单晶

英文名称：300 mm monocrystalline silicon

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-05-09

实施日期：2014-02-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、万向硅峰电子股份有限公司、宁波立立电子股份有限公司。

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家质量监督检验检疫