GB/T29506-2013300mm硅单晶抛光片

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率05Ω·cm~20Ω·cm 规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300mm 直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm 技术需求的衬底片。

标准号：GB/T 29506-2013

标准名称：300mm 硅单晶抛光片

英文名称：300 mm polished monocrystalline silicon wafers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-05-09

实施日期：2014-02-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫