GB/T14144-1993硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。本标准适用于室温电阻率大于01Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。

标准号：GB/T 14144-1993

标准名称：硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

英文名称：Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：被GB/T 14144-2009代替

起草单位：中科院上海冶金研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局