GB/T14143-1993300？900UM硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300~900μm的硅片间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于01Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。

标准号：GB/T 14143-1993

标准名称：300？900 UM 硅片间隙氧含量红外吸收测量方法

英文名称：300～900μm Silicon slices－Measuring of interstitial oxygen content－Infrared absorption method

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：被GB/T 1557-2006代替

起草单位：机电部第四十六研究所

归口单位：中国有色金属工业协会

发布单位：国家技术监督局