GB/T14139-1993硅外延片

本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。

标准号：GB/T 14139-1993

标准名称：硅外延片

英文名称：Silicon epitaxial wafers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-02-06

实施日期：1993-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：被GB/T 14139-2009代替

起草单位：上海第二冶炼厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局