PNSISO14644-9-2021洁净室和相关受控环境.第9部分:按颗粒浓度对表面清洁度的分类

标准号:PNS ISO 14644-9-2021
标准名称: 洁净室和相关受控环境第9部分:按颗粒浓度对表面清洁度的分类
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
标准类型:国外标准
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS):C70
国际标准分类号(ICS):1304035
