PNSISO14644-9-2021洁净室和相关受控环境.第9部分:按颗粒浓度对表面清洁度的分类

2026-02-07

标准号:PNS ISO 14644-9-2021

标准名称: 洁净室和相关受控环境第9部分:按颗粒浓度对表面清洁度的分类

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

标准类型:国外标准

标准状态:现行

中国标准分类号(CCS):C70

国际标准分类号(ICS):1304035

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