PNSISO14644-14-2021洁净室和相关受控环境.第14部分:通过空气颗粒浓度评估设备的适用性

标准号:PNS ISO 14644-14-2021
标准名称: 洁净室和相关受控环境第14部分:通过空气颗粒浓度评估设备的适用性
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration
标准类型:国外标准
标准状态:现行
发布日期:2021
实施日期:2021
