PNSISO14644-14-2021洁净室和相关受控环境.第14部分:通过空气颗粒浓度评估设备的适用性

2026-02-07

标准号:PNS ISO 14644-14-2021

标准名称: 洁净室和相关受控环境第14部分:通过空气颗粒浓度评估设备的适用性

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

标准类型:国外标准

标准状态:现行

发布日期:2021

实施日期:2021

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