PNSISO14644-10-2021洁净室和相关受控环境.第10部分:按化学浓度对表面清洁度的分类

标准号:PNS ISO 14644-10-2021
标准名称: 洁净室和相关受控环境第10部分:按化学浓度对表面清洁度的分类
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
标准类型:国外标准
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS):C70
国际标准分类号(ICS):1304035
