SJ/T11396-2009氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片

主要规定了氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片的技术要求、检验方法、检验规则、标志的规定、包装、运输和贮存的要求，以及相关工艺和工艺环境的要求等。本标准适用于制备半导体发光二极管的外延氮化镓的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

标准号：SJ/T 11396-2009

标准名称：氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片

英文名称：The sapphire substrates for nitride based light-emitting diode

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-11-17

实施日期：2010-01-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)

起草单位：深圳淼浩高新科技有限公司、深圳淼浩高新科技有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所

归口单位：工业和信息化部电子工业标准化研究所

发布单位：工业和信息化部