SJ/T11491-2015短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。
标准号：SJ/T 11491-2015
标准名称：短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
发布单位：工业和信息化部
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