SJ/T11491-2015短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

2025-06-28

本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量。

标准号：SJ/T 11491-2015

标准名称：短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

发布单位：工业和信息化部

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