SJ/T11490-2015低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法

2025-06-28

本标准规定了低位错密度砷化镓（GaAs）抛光片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法。

标准号：SJ/T 11490-2015

标准名称：低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

发布单位：工业和信息化部

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