SJ/T11493-2015硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对硅衬底单晶体材料中氮总浓度的测试方法。
标准号：SJ/T 11493-2015
标准名称：硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
发布单位：工业和信息化部
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