SJ/T11494-2015硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

2025-06-28

本标准规定了硅单晶中硼、磷杂质的光致发光测试方法。

标准号：SJ/T 11494-2015

标准名称：硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

发布单位：工业和信息化部

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