SJ/T11707-2018硅通孔几何测量术语

本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量，其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆，也可部分贯穿硅晶圆；硅通孔内可含有金属导体及其他介质，也可不包含金属导体及其他介质。

标准号：SJ/T 11707-2018

标准名称：硅通孔几何测量术语

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-02-09

实施日期：2018-04-01

发布单位：工业和信息化部