SJ/T11498-2015重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

2025-06-28

本标准规定了用二次离子质谱法（SIMS）对重掺硅衬底单晶体中氧浓度总量的测试方法。

标准号：SJ/T 11498-2015

标准名称：重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

发布单位：工业和信息化部

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