SJ/T11499-2015碳化硅单晶电学性能的测试方法
本标准规定了利用范德堡法测试6H、4H等晶型碳化硅单晶的导电类型、电阻率、迁移率、载流子浓度的方法。
标准号：SJ/T 11499-2015
标准名称：碳化硅单晶电学性能的测试方法
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
发布单位：工业和信息化部
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